CrN薄膜的制备及其抗氧化性的研究
本文采用热阴极离子镀技术，成功制备了高质量的CrN薄膜，对CrN薄膜进行了500.C一800.C的氧化实验。用高精度天平测量其质量变化、显微硬度计测量膜层硬度、XPd)、XPS测茸膜层结构、划痕仪测量膜层与基体的结合力等分析研究。实验结果表明：①利用热阴极离子镀技术能够制备出CrN硬质薄膜.在不同的工艺条件下，可以制备出具有面心立方结构和密排六方结构的CrN和Cr2N混合相薄膜，最高显微硬度2300HV；②所制备的CrN膜层与基体结合力较好，最高结合强度达到68N；③CxN薄膜在700.C仍具有较好的力学性能，且膜层与基体的结合力较好。
CrN薄膜 热阴极离子镀 抗氧化性
赵广彬 曹晓英 栾道成 陈甥怡
西华大学材料科学与工程学院,610039 成都市
国内会议
北京
中文
46-49
2010-12-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）