六自由度奈米测量机之量测系统组装及校正
本文介绍了一个六自由度奈米级精度测量机台(行程为25mm×25mm)之量测系统的组装及系统的校正。此六自由度奈米测量机分为两部份，第一部分为利用五根压电致动器所组成的四自由度(Z、θx、θy、θz)补偿平台，用以补偿组装及加工误差；第二部份为利用V型导轨架构成之XY双轴滑轨平台，配合音圈马达之推动，使平台能达到XY轴向之定位移动。在本文中，除了报告最测系统的架设步骤及校正结果外，亦提出初步的控制结果。
六自由度 扫描平台 测量系统 校正
沈金钟 觉文郁 吴家鸿 卢群中
虎尾科技大学自动化工程序,台湾 632 云林县虎镇
国内会议
北京
中文
103-108
2010-12-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）