基于音圈电机的新型高速精密定位系统设计方法

摘要：

　　设计了一种基于直线音圈电机直接驱动并采用新型弹性解耦机构的高速高精度X Y 精密定位平台。详细介绍了该装置的结构形式和动态设计方法，并对研制样机进行了性能测试。测试结果表明，该新型精密定位平台具有很高的速度、加速度和精度，能够适应集成电路封装业发展对封装设备提出的新要求。

关键词： 音圈电机 解耦机构 动态设计 性能测试

作者: 冯晓梅 张大卫 赵兴玉 杜伟涛

作者单位: 天津大学,天津,300072;解放军军事交通学院,天津,300161 天津大学,天津,300072

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010年LMS中国用户大会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 1000-1005

在线出版日期: 2010-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）