纳米级XY微定位平台的设计与研究

摘要：

　　为了实现二维平面纳米级定位，研制了一台压电陶瓷驱动和弹性铰链导向的一体化微定位平台。该微定位平台具有高刚度、高响应速度和高分辨率等优点。为了克服压电陶瓷驱动器伸长量较小的不足，采用杠杆放大机构增加微定位平台的位移输出。考虑驱动电路的影响，建立了微定位平台的机电耦合模型。通过试验研究了微定位平台的静动态特性，试验结果表明微定位平台的分辨率为5nm ，固有频率分别为143Hz 和180Hz。该微定位平台可应用于纳米级的微定位。

关键词： 微定位平台 压电陶瓷驱动器 动态性能

作者: 田延岭 张大卫 闫兵

作者单位: 天津大学机械工程学院,天津,300072 天津工程师范学院机械工程系,天津,300222

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010年LMS中国用户大会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 1499-1502

在线出版日期: 2010-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）