MEMS技术发展及其在生物芯片中的应用概述

摘要：

　　本文介绍微机电系统(MEMS)的技术发展概况以及MEMS在生物芯片中的应用，并对MEMS在生物芯片中的未来发展趋势进行展望。MEMS的发展极大地推动了生物芯片的发展，建议对MEMS在生物芯片中的应用进行更加系统深入的研究。

关键词： 微机电系统 微电子技术 生物芯片 传感器

作者: 蒙庆华 李一凡 樊东鑫

作者单位: 广西师范学院物理与电子工程学院,广西南宁 530023

会议类型: 国内会议

会议名称: 广西计算机学会2010年年会

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 528-531

在线出版日期: 2010-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）