飞秒激光在空气和水中对硅片烧蚀加工的实验研究
本文采用重复频率为1kHz、中心波长为800nm、最大单脉冲能量约2mJ、脉冲宽度在50fs-24 ps范围内连续可调的钛宝石飞秒激光，实验研究了单晶硅样品在空气和水溶液两种不同工作环境中的烧蚀加工特性。通过改变入射激光的能量、脉宽和脉冲个数，分析比较了激光脉冲参数对硅表面烧蚀过程的影响。实验观察到了在空气中飞秒激光烧蚀形成的环状结构，并对该物理现象进行了相应的分析与讨论；发现了溶液环境中由于水的电离而导致样品表面产生的“多孔状”烧蚀结构。首次证实在水环境中皮秒激光较飞秒激光更容易实现对硅材料表面的非热熔性去除，并在实验上确立了区分这两种不同加工状态的临界脉宽。该研究结果有助于进一步深入理解超短脉冲激光对材料的微细加工过程。
飞秒激光 硅片 烧蚀加工 微细结构
王锐 杨建军 韩伟 杨阳
南开大学现代光学研究所,光电信息科学技术教育部重点实验室,天津 300071
国内会议
第三届全国光机电技术与系统集成学术学会第十三届全国光电技术与系统学术会议
南京
中文
370-376
2008-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）