大口径干涉仪系统传递函数的检测

摘要：

　　本文引用评价参数-功率谱密度、在理论上建立了标定干涉仪系统传递函数的数学模型，提出实验标定干涉仪系统传递函数，研究了实验标定原理，并设计制作了标准的台阶位相板，采用位相比较法对Zygo干涉仪的系统传递函数进行测试，给出了有关曲线。结合实验，分析了各种误差源对干涉仪系统传递函数标定结果的影响，研究了标定干涉仪系统传递函数应注意的问题和解决方法，同时为以后进行更大口径干涉仪系统传函的测试提供数学理论基础和技术积累。

关键词： 系统传递函数 光学测试 干涉仪 位相比较法

作者: 武旭华 陈磊 肖韶荣

作者单位: 南京信息工程大学 电信学院 210044 南京理工大学 电光学院 210094

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国光机电技术与系统集成学术学会第十三届全国光电技术与系统学术会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 435-440

在线出版日期: 2008-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）