激光自混合干涉测振仪的硬件系统

摘要：

　　本文基于激光自混合干涉技术的特点，设计了一种新型半导体激光自混合干涉测振仪系统。系统将频率调制引入自混合干涉中，实现对振动物体的非接触式测量。介绍了激光自混合干涉测振仪的原理，仪器系统的光路系统设计，信号的调制模块设计，解调模块设计以及DSP系统的采集处理模块设计。该仪器体积小，成本低，易于准直，可以非接触式测量，能够测量振动频率在50KHZ内的物体，其中包括非周期性振动。可以测量出振动物体的振动频率，振幅以及还原振动波形，振动幅度测量精度可以达到0.325mm ，频率精度为1HZ。

关键词： 激光 自混合干涉 测振仪 DSP系统

作者: 张小元 岳邦强 王鸣

作者单位: 南京师范大学物理科学与技术学院,江苏省光电技术重点实验室,江苏,南京 210097

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国光机电技术与系统集成学术学会第十三届全国光电技术与系统学术会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 589-597

在线出版日期: 2008-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）