PET瓶内镀DLC薄膜的结构、成分研究
本文采用射频等离子体化学气相沉积（RF-PECVD）技术，以C2H2 为碳源，Ar 为稀释气体，在普通PET瓶内制备类金刚石（Diamond-like Carbon,DLC）薄膜作为高阻隔层。采用傅立叶红外透射光谱(FTIR)对其进行结构、成分进行分析。结果表明,射频等离子体化学气相沉积方法，可以在很短时间内于PET瓶内沉积一层纳米厚度的DLC膜。傅立叶红外透射光谱(FTIR)分析表明选用规格不同的电极，对于所制备的DLC的结构影响很大,同时薄膜结构中SP2和SP3比例和放电功率有较大的关系，而薄膜的成分受乙炔的比例的影响也不容忽视。
类金刚石膜 RF-PECVD技术 红外吸收光谱 薄膜结构 成分分析
杨莉 付亚波 陈强 张跃飞
北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室,北京,大兴,102600
国内会议
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2007-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）