磁过滤直流真空阴极弧沉积类金刚石膜的结构和力学性能研究

摘要：

　　采用磁过滤直流真空阴极弧沉积技术在不锈钢基体上制备了类金刚石（DLC）膜。利用光学显微镜、台阶仪、X 射线光电子能谱、Raman 光谱、显微硬度计、摩擦磨损仪、洛氏硬度计检测了薄膜的表面形貌、厚度、结构和相关力学特征。结果表明，膜中仍然存在着um 级的大颗粒分布，膜厚为290nm，sp3 键含量较高，在空气中的摩擦系数约为0.25，耐磨性能优良，膜与基体的结合性能良好。

关键词： 磁过滤真空阴极弧 DLC 膜 结构 摩擦磨损性能

作者: 祝土富 沈丽如 徐桂东

作者单位: 核工业西南物理研究院,成都 610041

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 38-44

在线出版日期: 2007-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）