低气压高频辉光放电等离子体的特性

摘要：

　　生成了低气压高频辉光放电等离子体，利用探针法测量了等离子体的电子温度，分析了压强、频率对等离子体电子温度的影响。

关键词： 低气压 等离子体 辉光放电 双探针法

作者: 李沛 刘文正 李成柳 崔杰

作者单位: 北京交通大学电气工程学院,北京 100044

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 57-60

在线出版日期: 2007-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）