介质阻挡放电激发XeI*准分子紫外光源的实验研究

摘要：

　　采用石英做介质阻挡层，对高气压XeI*准分子紫外光源进行了实验研究，从放电功率、放电频率、总气压、气体配比等参数分析了光源的工作特性，其最佳工作参数为总气压 320Torr、I2分压0.37％，电源频率58.7kHz。在此条件下当放电电压4.6kV、功率66W时，在距光源8.5cm 处得到的紫外光辐射强度为31.2mW/cm2，结合石英管结构参数和放电条件，经计算获得的光源转化效率为2.2%。

关键词： 介质阻挡放电 准分子光源 高气压XeI 转化效率

作者: 李朝阳 陈强 代立新 林辉创

作者单位: 北京印刷学院等离子体物理与材料研究室,北京,102600

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 118-121

在线出版日期: 2007-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）