离子束抛光玻璃微观结构分析

摘要：

　　研究背景：光学器件及微电子器件的粗糙表面会引起信号的 散射。超光滑表面加工极大的推动了光学加工技术的发展。

关键词： 光学器件 微电子器件 光学加工技术 微观结构

作者: 陈美艳 沈丽如

作者单位: 核工业西南物理研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 143-147

在线出版日期: 2007-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）