用于等离子体注入的高频高压全固态脉冲功率源
本课题所研制的固态Marx 发生器产生的重频高压脉冲可应用于等离子源离子浸没式注入（Plasma Source Ion Immersion Implantation）研究，在其他应用领域如雷达电源，高功率微波源，快脉冲放电源也有着非常广泛的前景。等离子源离子浸没式注入的实验及理论论证，用高重复频率短上升沿的负高压脉冲放电，可以获得很好的效果。传统的高功率脉冲源的输出脉冲很难兼顾高压、高重复频率和快上升前沿的要求，并且使用寿命和稳定性也不理想，本文将充分利用Marx 发生器和现代半导体器件在频带上的优势，旨在研制一台重频脉冲功率源，实现电压幅值最高－60kV，频率500Hz，上升时间800ns，负载脉冲电流25A 稳态电流3A，脉冲宽度20μs 到100μs的方波输出。
等离子体 高频高压全固态脉冲 功率源
刘克富 吴异凡 邱剑
复旦大学电光源研究所
国内会议
成都
中文
168-171
2007-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）