双层辉光等离子体放电光谱诊断
等离子体电子激发温度是等离子体重要参数之一，其研究对材料表面改性过程中的实时监控具有非常重要的意义。本实验以氩气为工作气体，利用发射光谱法对双层辉光放电等离子体参数进行了诊断。气体放电中的光谱发射谱线是与等离子体的电子激发温度有关的，本实验选择了650~800nm 范围Ar 原子谱线，以玻尔兹曼方程为依据，采用多线——斜率法对等离子体电子激发温度进行了估算。实验中研究了工件电压、源极电压、工作气压等工艺参数对电子激发温度的影响。实验结果表明，对于等离子体参数诊断来说，发射光谱法是一种实时、在线、原位、对体系没有扰动的良好的诊断手段。
电子激发温度 等离子体发射光谱法 双层辉光放电
边心超 张跃飞 陈强
北京印刷学院等离子体材料与物理研究室 北京大兴 102600
国内会议
成都
中文
172-180
2007-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）