探针法在直流辉光放电等离子体测量中的应用

摘要：

　　郎缪尔探针在测量低气压直流等离子体中被广泛应用。而在生成等离子体时，出于保护或其他目的，需在放电装置中设置接地点。通过实验，我们发现在放电装置的接地点设置以及探针形式不同时，得到的悬浮电位、空间电位和电子温度等参数的值有一定差异。本文讨论了使用不同形式探针在各接地情况下测得的等离子体的参数，分析了产生相关差异的原因。

关键词： 辉光放电 探针法 接地 等离子体

作者: 严伟 刘文正 李成柳

作者单位: 北京交通大学电气工程学院,北京 100044

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 198-202

在线出版日期: 2007-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）