微量水对PECVD方法制备碳纳米管形貌的影响
利用介质阻挡放电等离子体化学气相沉积技术，在蒸镀有25nm Ni 催化剂层的 Si 基片上，以CH4 和H2 作为反应气体，在700℃下制备了碳纳米管，并研究了微量水的引入对碳纳米管形貌的影响。SEM 结果表明，不加水时，制备出的碳纳米管直径不均匀，分布在40-90nm 之间，且表面粗糙，呈链节状的结构；当加入少量水时，制备出的碳纳米管直径变得均匀，为70nm 左右，表面变为瘤状结构；当水的流量进一步增加时，得到的碳纳米管出现了枝状结构。原位观测了加水前后等离子体区的发射光谱，并对纳米管形貌变化的原因进行了初步的分析。
碳纳米管 介质阻挡放电 PECVD方法
张春梅 边心超 陈强 付亚波 张跃飞
北京印刷学院等离子体物理与材料研究室,北京,102600
国内会议
成都
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211-216
2007-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）