薄膜厚度对Co90Fe10薄膜电特性影响的研究

摘要：

本文利用Co90Fe10靶,采用电子束真空蒸发方法制备了CoFe薄膜,研究了薄膜厚度、退火处理对C090Fe10薄膜电特性的影响,以及厚度对磁电阻特性的影响．实验发现,薄膜电阻率随厚度的增加而减小,样品厚度较小时,厚度对电阻率的影响较大,450℃退火后,样品电阻率明显较小．室温沉积态,各向异性磁电阻率随样品厚度的增加略有增大,最大磁电阻率约为0．18％．

关键词： 退火 Co90Fe10薄膜 电阻率 各向异性磁电阻 薄膜厚度

作者: 陈森 付建波 谢剑桥 魏家琦 吴平 张师平

作者单位: 北京科技大学数理学院物理系 北京 100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011年全国高等学校物理基础课程教育学术研讨会

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 68-71

在线出版日期: 2011-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）