铒/镱共掺可溶性配合物光波导放大器的制备研究

摘要：

本文介绍了铒／镱共掺可溶性配合物材料的合成过程，并对其薄膜的折射率进行表征；分析铒／镱共掺可溶性配合物薄膜难以刻蚀的的原因，设计了倒脊型光波导结构；详细介绍了铒／镱共掺可溶性配合物光波导放大器的工艺制备过程，制备出倒脊形波导，对波导形貌进行表征，在长度为1．2cm的器件中测试得到较好的近场光斑以及2．22dB(合1．85dB／cm)的相对增益。

关键词： 铒／镱共掺配合物 倒脊形 光波导放大器

作者: 张琨 陈聪 李彤 刘天际 刘馨阳 张大明

作者单位: 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学与工程学院，130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国塑料光纤、聚合物光子学会议

会议地点: 广东东莞

会议语种:中文

页码: 156-162

在线出版日期: 2010-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）