半导体制造中多组合设备的Petri网建模及死锁分析

摘要：

在半导体芯片制造中必须保证组合设备运行时不存在死锁，本文研究了多组合设备的无死锁运行问题。引入了着色令牌和受控变迁，用面向资源petri网对多组合设备加工晶圆的过程建模。所建模型结构简洁紧凑，不但能描述多组合设备加工晶圆的稳态阶段，还能描述初始暂态、趋停暂态阶段。根据模型，分析了Petri网的活性，提出了死锁避免的控制策略。

关键词： 多组合设备 晶圆加工 过程建模 Petri网 死锁检查

作者: 朱清华 伍乃骐 滕少华

作者单位: 广东工业大学机电工程学院， 广州 510006 广东工业大学计算机学院， 广州 510006 广东工业大学机电工程学院， 广州 510006 广东工业大学计算机学院， 广州 510006

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国计算机支持的协同工作学术会议暨第五届全国智能信息网络学术会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2010-11-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）