溶胶-凝胶SiO2减反膜的表面修饰和抗污染特性

摘要：

采用溶胶-凝胶法制备了用于高功率激光装置的SiO2减反射膜,并在室温条件下采用气相法对该薄膜进行表面修饰.结果表明:修饰后薄膜的疏水性能、激光损伤阈值均有明显提高,其在大气环境下的耐候性与普通薄膜相当,但对有机污染物的抗性明显提高;经六甲基二硅胺烷修饰、氨气氛及热处理后的薄膜表现出对有机烷类良好的抗污染性能.

关键词： 溶胶-凝胶法 二氧化硅减反薄膜 表面修饰 抗污染性能 硅烷化

作者: 沈军 刘源 李晓光

作者单位: 同济大学波耳固体物理研究所,上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,上海,200092 同济大学波耳固体物理研究所,上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,上海,200092 上海理工大学理学院,上海,200090

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国特种玻璃会议

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 2054-2058

在线出版日期: 2010-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）