蓝宝石衬底上透明MgxZn1-xO薄膜的制备及表征
采用射频磁控溅射法在Al2O3(001)衬底上制备了高Mg含量的MgxZn1-xO薄膜,研究了MgxZn1-xO薄膜的结构和光学性能.结果表:Al2O3(001)衬底上MgxZn1-xO薄膜的组分为Mg0.47Zn0.53O,薄膜呈六方纤锌矿结构.薄膜沿c轴方向取向生长,且c轴方向晶格增大0.002 9 nm.薄膜的吸收边峰值位于292nm,对应的禁带宽度为4.24eV.薄膜平均粒径约为10～20nm,在深紫外-可见光激发下的荧光发射峰分别位于320nm和400nm附近.
氧化锌镁 射频磁控溅射 蓝宝石衬底 透明薄膜
张希艳 刘全生 王玉霞 柏朝晖 王晓春 孙海鹰
长春理工大学光电功能材料教育部工程研究中心,长春,130022
国内会议
宁波
中文
2105-2109
2010-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）