SOI光波导器件：光调制器／光开关和光耦合器

摘要：

导波光学以光的电磁理论为基础，研究光波在光学波导中的传播、散射、偏振、衍射等效应，我们深入研究了SOI波导中的单模条件和传输特性。利用半导体材料的电光效应能够对光波进行调制，使其能够运载各种信息，特别是数高容量、高速率的信息，成为光学系统中极为重要的器件。

关键词： SOI光波导器件 光调制器 光开关 光耦合器

作者: 余金中 肖希 李智勇 李运涛 俞育德

作者单位: 中国科学院半导体研究所,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011年全国硅基光电子材料及器件研讨会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 7-8

在线出版日期: 2011-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）