利用多孔氧化铝模板生长锗纳米点研究

摘要：

本文利用多孔阳极氧化铝作为模板，将贴有模板的衬底在分子束外延生长系统中进行锗的沉积，通过不同的工艺选择，研究了其对于自组装锗纳米点的有序性和周期性的影响。扫描电镜的结果证实此方法可以获得尺寸小、均一且周期性良好的纳米点状结构。

关键词： 多孔氧化铝模板 生长锗纳米点 应用

作者: 皇甫幼睿 张磊 詹文博 叶辉

作者单位: 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,杭州,310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011年全国硅基光电子材料及器件研讨会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 44-46

在线出版日期: 2011-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）