静电驱动压阻检测微机械陀螺仪的研究

摘要：

对静电驱动压阻检测微机械陀螺仪进行了结构设计并对工作原理进行了介绍. 与硅压阻器件相比，本文利用多势垒纳米膜所具有的压阻效应作为检测方式，实现了较高的压阻灵敏度;采用硅基异质外延砷化镓薄膜工艺进行陀螺结构以及多势垒纳米膜器件的加工，较好地实现了工艺的兼容. 通过对结构进行模态仿真，确定了陀螺的固有频率.

关键词： 静电驱动 压阻检测 结构设计 微机械陀螺 加工工艺

作者: 王瑞荣 杜康 石云波 刘俊

作者单位: 中北大学,电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051 中北大学,电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051;中北大学,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西,太原,030051

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十五届测试技术学术年会

会议地点: 西宁

会议语种:中文

页码: 334-338

在线出版日期: 2010-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）