会议专题

基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究

设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电极,PECVD氧化硅为介质层,碳氟聚合物为疏水层,实现了器件制作.芯片采用开放式结构,制作工艺简单,操作方便.测试结果表明,驱动功率为0.38 W时,去离子水和硅油的传输速率分别达到0.1 mm/s和1 mm/s.

微液滴 温度梯度 表面张力梯度 电阻加热器 开放式结构

高安然 李铁 刘翔 焦继伟 王跃林

传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;中国科学院研究生院,北京,100049 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050

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中国兵工学会第十五届测试技术学术年会

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2010-08-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)