气体探测用低功耗微型加热器研究

摘要：

介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元件以折线的形式排列在中心膜区上,采用硅各向异性腐蚀液正面释放薄膜,并在薄膜下方形成倒金字塔型的隔热腔体.测试结果表明,加热器在400C时功耗仅为26 mw,且加热器的升温响应时间小于5 ms,降温响应时间小于2 ms.

关键词： MEMS技术 低功耗微型加热器 各向异性腐蚀

作者: 许磊 李铁 高秀丽 王跃林

作者单位: 中国科学院,上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室,上海,200050

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十五届测试技术学术年会

会议地点: 西宁

会议语种:中文

页码: 410-413

在线出版日期: 2010-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）