硅基反铁电薄膜微悬臂梁力学仿真分析

摘要：

采用双层微悬臂梁理论模型,对基于反铁电薄膜微悬臂梁驱动构件的力学行为进行分析研究.以反铁电薄膜材料体积应变ε=0.8％为设定量,实现硅基反铁电薄膜微悬臂梁结构的应变-应力载荷转化,运用ANSYS11.0对基于反铁电薄膜应变效应的硅基微悬臂梁结构进行了静态分析、模态分析和谐响应分析,通过对此微驱动结构的优化设计、仿真,得出了不同几何参数硅基微悬臂梁构件的挠度和谐振频率.从而无需进行大量的工艺流片,为大量程的微悬臂梁驱动构件的设计加工提供指导意义.

关键词： 反铁电薄膜 微悬臂梁 应变效应 力学行为 仿真分析

作者: 赵振宇 卢荻 丑修建 刘俊

作者单位: 中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西,太原,030051

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十五届测试技术学术年会

会议地点: 西宁

会议语种:中文

页码: 444-448

在线出版日期: 2010-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）