基于白光透射反射干涉的形貌重构方法验证

摘要：

利用扫描白光干涉的测量方法,通过透射反射干涉的方式,对覆盖不同层数透明薄膜GaAs台阶结构进行透射测试,实现了对覆盖透明薄膜的GaAs台阶结构三维形貌还原方法的验证.该测量方法是在Pizeo的驱动下,通过改变测量臂和参考臂之间的光程差,使其不同高度的表面到达零光程差位置,并由CCD记录整个扫描过程中干涉条纹的变化状况,进而提取被测件的三维形貌信息.该测试技术具有非接触、无破损、高灵敏度和快速测量的特点.可为膜后形貌的三维重构提供借鉴方法.

关键词： 扫描白光干涉 GaAs台阶结构 透射反射干涉 三维形貌还原 零光程差

作者: 刘君 薛晨阳 丑修建 刘毅 牛康康

作者单位: 中北大学,电子测试技术国家重点实验室,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西,太原,030051

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十五届测试技术学术年会

会议地点: 西宁

会议语种:中文

页码: 463-466

在线出版日期: 2010-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）