耐高温智能压力检测仪研究

摘要：

机械式压力检测装置无法满足在高温、高压和振动冲击等恶劣环境下压力检测的使用要求;采用了耐高温压阻式压力传感器作为压力枪测器件取代机械压力表，用SIMOX(separation by implanted oxygen)技术的SOI(silicon oninsulator)晶片在微加工平台上制作的传感器硅芯片，完成耐高温封装，并配置了放大电路，研制了智能压力检测仪，从而保证了测试结果的科学性、真实性和合理性。

关键词： 压力检测 SIMOX 压阻式压力传感器 放大电路

作者: 王权 丁建宁 葛树群 王文襄

作者单位: 江苏大学微纳米科学技术研究中心 江苏 镇江 212013 大连机车厂 辽宁　大连　116021 昆山双桥传感器测试技术有限公司，江苏 苏州，215325

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005全国博士生学术论坛——机械工程

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 942-944

在线出版日期: 2005-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）