静电致动扭转微镜气膜阻尼分析与设计

摘要：

优化设计气膜阻尼是提高静电驱动扭转微镜系统工作效率的有效途径。推导了微镜气膜阻尼扭矩和静电力扭矩计算公式，建立了静电驱动扭转微镜的系统动力学方程。在不改变系统的固有频率基础上，以系统响应的调整时间最短为目标，通过调整微镜支撑高度来优化气膜阻尼。数值仿真结果显示，当阻尼比达到0.6～0.8之间，响应的调整时间最短。

关键词： 微镜 静电力 动力学 气膜阻尼

作者: 王洪喜 贾建援 赵剑

作者单位: 西安电子科技大学机电工程学院181＃，西安 710071

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005全国博士生学术论坛——机械工程

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1285-1288

在线出版日期: 2005-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）