微驱动精密定位系统及控制方法的研究
运用弹性力学原理，分析了双层平行板弹性铰链的刚度，利用有限元分析软件ANSYS，仿真微动工作台的静力变形、应力分布和固有频率，设计了基于压电陶瓷直接驱动的精密微动工作台。压电陶瓷存在迟滞、蠕变等同有的非线性缺陷，仅靠PID控制难以取得满意的控制效果，单神经元自适应PID控制器结合了传统PID结构简单、调节方便和单神经元自学习、自适应的特点，能够对压电陶瓷的非线性特性进行自学习、自适应控制。实验证明，运用单神经元自适应PID控制微位移定位系统，取得良好的控制效果。
微驱动 压电陶瓷 有限元 单神经元 自适应
晏祖根 孙立宁
哈尔滨工业大学机器人研究所，哈尔滨 150001
国内会议
北京
中文
587-590
2005-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）