用于光学调整的二维纳米级微动工作台设计分析

摘要：

研究开发了一种用于光学调整的二维压电驱动的纳米级微动工作台，采用结构力学理论推导出工作台沿X、Y方向刚度及前二阶固有频率解析式。通过微动工作台固有频率及沿X、Y方向刚度的实验测试，验证了解析方法和有限元方法用于微动工作台设计分析的可行性。有限元分析结果表明:可通过改变直角平板柔性铰链的特征参数，达到控制和优化工作台固有频率、输出位移、应力分布及驱动力响应的目的，并提出一种初选微动工作台柔性铰链参数的简易方法。

关键词： 光学调整 压电驱动 纳米级微动工作台 有限元分析

作者: 马立 荣伟彬 孙立宁 高燕

作者单位: 哈尔滨工业大学机器人研究所，黑龙江 哈尔滨 150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005全国博士生学术论坛——机械工程

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 604-608

在线出版日期: 2005-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）