准分子光源的应用简介

摘要：

介绍了准分子光源的原理结构及其在紫外固化、材料沉积、薄膜制备、材料表面改性和污染控制等领域的应用和最新研究成果。

关键词： 准分子光源 紫外固化 材料沉积 表面改性 污染控制

作者: 李敏 张善端

作者单位: 复旦大学电光源研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海照明科技及应用趋势论坛

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 176-179

在线出版日期: 2011-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）