MEMS技术及发展建言

摘要：

本文概述了MEMS技术的定义、研究内容、发展趋势及应用，并对发展我国MEMS技术提出了若干建言。 MEMS技术之所以越来越引起业界的广泛重视与共识，是因为MEMS技术形成的产品具有微型化、高性/价比、能大批量生产且与IC技术兼容等特点而成为一个全新的技术领域。 现将MEMS技术的一些基本情况概述如下，并对我国MEMS技术的发展提出看法。

关键词： MEMS技术 工艺制备 敏感元件

作者: 徐开先

作者单位: 沈阳仪表科学研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议

会议地点: 扬州

会议语种:中文

页码: 73-76

在线出版日期: 2011-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）