微型压力敏感元件的发展

摘要：

微型压力敏感元件是压力传感器的关键部件，是沿用传统压力传感器的原理，利用微机械制造技术，直接将传统应变计制作在金属敏感体上，与敏感体成为一体的现代制造工艺技术。文中主要介绍了微型压力敏感元件发展的重要性和现状。

关键词： 微型压力敏感元件 压力传感器 制造工艺技术

作者: 唐俐

作者单位: 中国工程物理研究院总体工程研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议

会议地点: 扬州

会议语种:中文

页码: 77-78

在线出版日期: 2011-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）