硅基力敏传感器及其工业应用

摘要：

提出了国内硅基力敏传感器的现状，指出在产品研发、制备工艺、基础研究、应用方面存在的问题和不足。分析了硅基力敏元件和传感器的发展趋势。介绍了硅压阻、硅电容、硅谐振三种典型的压力传感器。并对力敏传感器应用时的选用原则、注意事项、应用领域等问题进行了论述。

关键词： 制备工艺 硅基力敏元件 传感器

作者: 徐开先 殷波

作者单位: 沈阳仪表科学研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议

会议地点: 扬州

会议语种:中文

页码: 79-87

在线出版日期: 2011-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）