对典型的硅基力敏传感器的特性评价

摘要：

对三种典型的石丰基力敏传感器，硅压阻、硅电容、硅谐振传感器的基本性能、稳定性、性价比、批量生产工艺等性能进行了分析。最后对其综合性能进行比较，提供客户选用时参考。

关键词： 硅基力敏传感器 综合性能 生产工艺

作者: 徐开先

作者单位: 沈阳仪表科学研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议

会议地点: 扬州

会议语种:中文

页码: 88-91

在线出版日期: 2011-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）