硅电容压力传感器及其产业化

摘要：

文章论述了硅电容压力传感器的特点、硅电容压力传感器的设计、制备工艺。剖析了变送器用压力传感器国内外现状。提出了自主研发的传感器应实现产业化，指出了硅电容压力传感器要实现产业化的条件和方法。

关键词： 硅电容压力传感器 产业化 制备工艺

作者: 徐开先

作者单位: 沈阳仪表科学研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议

会议地点: 扬州

会议语种:中文

页码: 92-96

在线出版日期: 2011-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）