高耐温精密冷反光镜研制

摘要：

高耐温精密冷反光镜是应用于影象光学系统的一种常用光学元件。这种反光镜具有高耐温性、反射可见光、透射红外光的使用要求。本文介绍了采用低膨胀系数的高耐温性基底材料，利用电子束热蒸发PVD镀膜方法及IAD离子辅助沉积工艺，制备出了可见光光谱平均反射率高于95％、红外光光谱平均透过率高于85％，膜层耐温性能达到450℃高温下膜层无异常的反光镜产品，并实现了批量生产。

关键词： 冷反光镜 IAD 真空镀膜 高耐温性

作者: 姚春龙 王银河 李野 阴晓俊 宋光辉

作者单位: 沈阳汇博光学技术公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议

会议地点: 扬州

会议语种:中文

页码: 188-192

在线出版日期: 2011-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）