某新型硅压力传感器的失效分析

摘要：

本文以某新型硅压力传感器可靠性试验为基础，针对产品在试验过程中暴露出的问题，进行失效分析及有效改进，提高其在自然环境和工作现场耐受温度、湿度、腐蚀、振动、冲击、电磁场等环境条件的影响能力。

关键词： 硅压力传感器 可靠性试验 失效分析

作者: 李延夫 于振毅 张玉杰 孙礼

作者单位: 国家仪器仪表元器件质量监督检验中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议

会议地点: 扬州

会议语种:中文

页码: 217-220

在线出版日期: 2011-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）