硅压力传感器可靠性强化试验研究

摘要：

为实现硅压力传感器的快速评价和快速提高传感器可靠性的目标，综合分析了国际上先进的可靠性强化试验理论与技术，并应用失效物理学原理，对硅压力传感器可靠性强化试验技术剖面进行了研究性评述。

关键词： 硅压力传感器 可靠性 失效物理学原理

作者: 李延夫 苑庆迪 杜健 孙礼

作者单位: 国家仪器仪表元器件质量监督检验中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议

会议地点: 扬州

会议语种:中文

页码: 221-224

在线出版日期: 2011-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）