金属--P型金刚石肖特基势垒性能

摘要：

该文报道金属--P型金刚石薄膜的肖特基势垒性能。在低阻Si单晶衬底上，用微波等离子体CVD法生长掺硼的多晶金刚石薄膜，用金属与P型金刚石薄膜接触的方法获得金刚石薄膜的肖特基势垒性能。经测试分析，在10V范围内有4个数量级的整流性能。

关键词： P型金刚石 肖特基势垒

作者: 江关辉

作者单位: 电子器件研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 243～245

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）