多阴极金属等离子体源的设计及应用

摘要：

本研究设计了一种新型的多阴极弧等离子体源,该装置可装配四个放电参数独立可调的金属阴极。采用探针对等离子体的分布均匀性、磁导管偏压和约束磁场电流进行测试分析和优化。利用该装置制备了具有不同Si含量的多元TiAlSiN复合薄膜,利用EDX、SEM、XRD、XPS和纳米探针对薄膜的微结构和力学性能进行测试分析,结果表明：在Si含量为0.64 at.％时,薄膜具有高的的硬度32GPa,但薄膜的断裂韧性和结合强度差,而在Si含量为5.33 at.％时,薄膜具有高的的硬度30GPa,此外,薄膜具有较好的断裂韧性和结合强度。

关键词： 多阴极等离子体源 均匀性 多元TiAlSiN复合薄膜 硬度

作者: 王浪平 解志文 王漫 王小峰 闫久春 黄磊 陆洋

作者单位: 哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室 哈尔滨 150001 黑龙江省科学院技术物理研究所 哈尔滨 150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 6-12

在线出版日期: 2010-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）