氢氦离子注入机的研制

摘要：

介绍正在研制的氢氦离子注入机的结构和各部分的主要性能指标。 它的最高能量200keV,可以按一定比例同时用氢氦两种离子进行注入实验。该机经过调试,各项主要指标已达到设计要求,工作稳定可靠。

关键词： 离子注入机 透镜 离子源 质谱技术

作者: 陈立华 崔保群 马瑞刚 郑永男 姜冲 黄青华 马鹰俊 蒋渭生

作者单位: 中国原子能科学研究院 北京市 102413

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 20-24

在线出版日期: 2010-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）