脉冲真空弧离子源放电等离子体的TOF诊断

摘要：

利用飞行时间质谱仪(Time of Flight)诊断了含氢电极脉冲真空弧离子源放电等离子体成分、离子电荷状态分布以及离子扩散速度。实验结果表明,脉冲真空弧离子源放电等离子体的成分主要由H+、Ti+、Ti2+和Ti3+组成,其中Ti2+占主要部分。Ti离子的平均电荷数在1.95～2.13之间,随着放电电流的增大,平均电荷数也会增加。测量了等离子体不同离子的扩散速度,在104m/s量级,但不同离子的扩散速度有所不同。

关键词： 飞行时间质谱仪 离子电荷 离子扩散速度

作者: 陈磊 程亮 谈效华 金大志 石磊

作者单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所 四川绵阳 621900 清华大学工程物理系 北京 100084 中国工程物理研究院电子工程研究所 四川绵阳 621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 237-241

在线出版日期: 2010-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）