浸渍阴极表面溅射覆膜工艺技术研究

摘要：

SEM)形貌分析,并在动态真空系统中测试阴极的电子发射特性。试验结果表明浸渍阴极经过表面离子刻蚀和镀覆锇膜后,阴极发射性能得到显著提高,这将有利于延长阴极寿命并能够在空间行波管等微波器件中得到很好地应用。

关键词： 浸渍阴极 溅射覆膜 刻蚀 电子发射

作者: 俞世吉 苏小保 孟鸣凤 李玉涛 徐强

作者单位: 中国科学院电子学研究所,北京 100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 300-304

在线出版日期: 2010-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）