光谱法诊断低温等离子体的电子温度

摘要：

为了诊断低温等离子体的电子温度，利用光纤光谱仪测量了直流辉光放电条件下圆柱形放电管中氖气的发射光谱，采用玻耳兹曼图法计算出低温等离子体的电子温度．实验结果表明等离子体的电子温度随气体压强的增大而降低．与朗缪尔双探针法的测量结果比较，结果表明两种诊断方法的测量结果比较接近，且电子温度随放电功率的变化规律基本一致．该光谱诊断法简单实用，可用于低温等离子体的电子温度诊断．

关键词： 等离子体 电子温度 光谱诊断 朗缪尔双探针

作者: 殷燕 赵建森 俞哲

作者单位: 大连海事大学环境工程研究所,辽宁,大连 116026

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国物理学会第十五届静电学术会议

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 163-165

在线出版日期: 2009-08-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）