会议专题

新型平衡电压无偏离离子风机的设计

研究一种新型的平衡电压无偏离子风机的改进设计.利用闭环控制系统,对输出电压进行控制;在控制的过程中,传感器对离子风机平衡电压进行实时监测,并通过模拟信号处理电路将电压参数反馈给监控单元,监控单元根据反馈值对输出电压做出相应调整,从而完成离子风机输出电压闭环控制.

离子风机 平衡电压 闭环控制

孙玉荣 成玉磊 赵雷

苏州天华超净科技股份有限公司,江苏,苏州 215121

国内会议

中国物理学会第十五届静电学术会议

郑州

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230-232

2009-08-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)