不同基区掺杂浓度NPN双极晶体管电离辐照效应

摘要：

本文对相同工艺制作但基区掺杂浓度不同的国产NPN双极晶体管,在不同剂量率条件下进行60Coγ辐照效应和退火特性研究。结果显示,晶体管基区掺杂浓度不同,对高、低剂量率的辐照响应也不相同,低基区掺杂浓度的晶体管辐照损伤明显高于高基区掺杂浓度的晶体管。

关键词： NPN双极晶体管 60Coγ辐照 基区掺杂浓度 辐照损伤 退火特性

作者: 席善斌 陆妩 郑玉展 许发月 周东 李明 王飞 王志宽 杨永晖

作者单位: 中国科学院,新疆理化技术研究所,新疆,乌鲁木齐,830011;新疆电子信息材料与器件重点实验室,新疆,乌鲁木齐,830011;中国科学院研究生院,北京,100049 中国科学院,新疆理化技术研究所,新疆,乌鲁木齐,830011;新疆电子信息材料与器件重点实验室,新疆,乌鲁木齐,830011 模拟集成电路国家重点实验室,重庆,400060

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届(2010年)北京核学会核技术应用学术交流会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 533-537

在线出版日期: 2010-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）